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发布用户:styqjcgs
发布时间:2024-05-17 20:53:51
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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究
世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究
在航天领域,常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量,其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下,并且待测压力微小,此外还要求小型化、低功耗,故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。
多语言选项意味着您可与世界各地使用其语言的同事交流热数据和结果。借助在数据文件中保存和共享工作区的功能,相关同事能以完全相同的方式查看记录数据,提率并减少因翻译不当造成结果解读错误的可能。具体优势如下,为你详解~1.简化的用户界面直观的控制设计允许各层次的用户快速获取和分析热数据。即插即用连接多台热像仪,即时分析;使用简单的“连接-记录-分析”工作流程,地展数据获取和分析工作;支持操作系统:Windows、MacOs、Linux;种语言版本可选。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等,因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*,且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段,使其能够适应高温环境,即能*终满足测试的要求。
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相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等,因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*,且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段,使其能够适应高温环境,即能*终满足测试的要求。
高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理,使用耐高温材料外壳和支撑架,部件连接采用固体焊接等耐高温工艺,实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量,并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施,提高了抗冲击、振动能力。
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半导体生产流程由晶圆,晶圆测试,芯片封装和封装后测试组成,晶圆和芯片封装讨论较多,而测试环节的相关知识经常被边缘化,下面集中介绍集成电路芯片测试的相关内容,主要集中在WAT,CP和FT三个环节。集成电路设计、、封装流程示意图WAT(WaferAcceptanceTest)测试,也叫PCM(ProcessControlMonitoring),对Wafer划片槽(ScribeLine)测试键(TestKey)的测试,通过电性参数来监控各步工艺是否正常和稳定,CMOS的电容,电阻,Contact,metalLine等,一般在wafer完成制程前,是Wafer从Fab厂出货到封测厂的依据,测试方法是用ProbeCard扎在TestKey的metalPad上,ProbeCard另一端接在WAT测试机台上,由WATRecipe自动控制测试位置和内容,测完某条TestKey后,ProbeCard会自动移到下一条TestKey,直到整片Wafer测试完成。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境,我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统,通过高低温真空试验装置和人机软件的结合,为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。
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半导体生产流程由晶圆,晶圆测试,芯片封装和封装后测试组成,晶圆和芯片封装讨论较多,而测试环节的相关知识经常被边缘化,下面集中介绍集成电路芯片测试的相关内容,主要集中在WAT,CP和FT三个环节。集成电路设计、、封装流程示意图WAT(WaferAcceptanceTest)测试,也叫PCM(ProcessControlMonitoring),对Wafer划片槽(ScribeLine)测试键(TestKey)的测试,通过电性参数来监控各步工艺是否正常和稳定,CMOS的电容,电阻,Contact,metalLine等,一般在wafer完成制程前,是Wafer从Fab厂出货到封测厂的依据,测试方法是用ProbeCard扎在TestKey的metalPad上,ProbeCard另一端接在WAT测试机台上,由WATRecipe自动控制测试位置和内容,测完某条TestKey后,ProbeCard会自动移到下一条TestKey,直到整片Wafer测试完成。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境,我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统,通过高低温真空试验装置和人机软件的结合,为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。
1、传感器测量原理
(1) 微压力测量原理
高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理,根据Fabry-Perot共振效应,F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示,为传感器原理示意图,感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理,压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变,从而改变F-P腔腔长,引起干涉谱变化,通过测量干涉光谱,即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化,从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高,可感受两个镜面之间纳米级的位移变化,可满足500 Pa微小压力的测量需要。
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据我们所知,CAN一致性测试中,有一项测试叫“CANL对地短路测试”,但是我们测试的时候发现被测设备有时候在对地短路时也能正常通讯,究竟怎么回事呢?我们都知道CAN总线采用差分传输,这样可以极大的避免信号的反射和干扰,从而共模干扰,也是CAN容错性能好的原因之一,CAN的波特率可以到1Mbps。根据波特率的大小我们把CAN总线分为单线CAN、低速CAN、高速CAN。表1CAN总线类型CAN的通讯质量也跟其传输距离有关,如,CAN的工程师都知道CAN总线上任意两个节点的传输距离与其波特率有关,CAN的波特率越大,传输距离就越短,因为传输线缆本身可以看成一个阻容结构的器件,线缆越长,寄生电容跟电阻就越大。
据我们所知,CAN一致性测试中,有一项测试叫“CANL对地短路测试”,但是我们测试的时候发现被测设备有时候在对地短路时也能正常通讯,究竟怎么回事呢?我们都知道CAN总线采用差分传输,这样可以极大的避免信号的反射和干扰,从而共模干扰,也是CAN容错性能好的原因之一,CAN的波特率可以到1Mbps。根据波特率的大小我们把CAN总线分为单线CAN、低速CAN、高速CAN。表1CAN总线类型CAN的通讯质量也跟其传输距离有关,如,CAN的工程师都知道CAN总线上任意两个节点的传输距离与其波特率有关,CAN的波特率越大,传输距离就越短,因为传输线缆本身可以看成一个阻容结构的器件,线缆越长,寄生电容跟电阻就越大。
(2) 传感器的仪器校准原理
在传感器探头确定的情况下,参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得,而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。
将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境,通过标准具得到压力、温度的标准量,通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线,再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线,用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系,从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较,可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。
测试设备校验福建-认证中心不确定性是始终存在的,对误差来源的评估可以帮助确定测量的不确定度。除上述外,还有一些相关术语在依据美国 标准与技术研究所(NIST)或其它标准机构的说明文件来描绘性能时会有用。可描述性是保证所有的测量器件有一个共同的基准所必须的。所谓“规范”是指保证性能由校准溯源到NIST的测试设备产生。“典型”往往意味着性能是 测试,但不包括测量不确定因素。“象征性”的表现通常是补充信息,不是在每个仪器上的普遍测量。
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